[发明专利]单块的偏振受控角漫射器及有关方法有效
申请号: | 201010143342.0 | 申请日: | 2005-08-30 |
公开(公告)号: | CN101793989A | 公开(公告)日: | 2010-08-04 |
发明(设计)人: | 马可·D·伊梅尔;艾伦·D·卡特曼 | 申请(专利权)人: | 德塞拉北美公司 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18;G03F7/20 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 林月俊;安翔 |
地址: | 美国北卡*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 单块的偏振受控角漫射器包括:具有第一表面和第二表面的系统;用于在照明平面上提供角分布的受控角漫射器图案,该受控角漫射器图案在基板的第一和第二表面之一上;和在基板的第一和第二表面之一上的偏振图案。该受控角漫射器图案包括至少两个受控角漫射器元件。每个受控角漫射器元件都输出不同的角分布。偏振图案包括至少两个偏振元件。每个偏振元件都对应于各个受控角漫射器元件。所述至少两个偏振元件输出彼此旋转的偏振。 | ||
搜索关键词: | 偏振 受控 漫射 有关 方法 | ||
【主权项】:
一种单块的偏振受控角漫射器,包括:具有至少两个平行且连续的平坦表面的系统;用于在照明平面上提供角分布的受控角漫射器图案,该受控角漫射器图案在所述至少两个平行且连续的平坦表面之一上,该受控角漫射器图案包括至少两个受控角漫射器元件,每个受控漫射器元件都输出不同的角分布;和在所述至少两个平行且连续的平坦表面之一上的偏振图案,该偏振图案包括至少两个偏振元件,每个偏振元件都对应于各受控角漫射器元件,所述至少两个偏振元件输出相对彼此旋转的偏振。
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