[发明专利]基板升降移送装置及基板处理移送系统

摘要

在基板升降移送装置中，在第一基板处理装置的一侧以能够绕水平的轴心摇动的方式设置具有第一姿势切换用保持构件的第一姿势切换部件，在第二基板处理装置的一侧以能够绕水平的轴心摇动的方式设置具有第二姿势切换用保持构件的第二姿势切换部件，在竖立设置于第一姿势切换部件的一侧的支承框架上以能够循环行走的方式设置沿上下方向延伸的环状部件，在环状部件上在圆周方向上隔开间隔地设置多个升降用保持构件。根据该基板升降移送装置，能够充分地削减其占有平面面积，能够有效利用工厂内空间。

主权项

一种基板升降移送装置，在配置于下层且进行对基板的处理的第一基板处理装置、和配置于上层且进行对基板的处理的第二基板处理装置之间，进行基板的升降移送，其特征在于，具备：第一姿势切换部件，以能够绕水平的轴心摇动的方式设置在所述第一基板处理装置的一侧，并具有保持基板的第一姿势切换用保持构件，将基板的姿势切换成倒伏姿势和立起姿势；第一姿势切换用驱动器，使所述第一姿势切换部件摇动；第二姿势切换部件，以能够绕水平的轴心摇动的方式设置在所述第二基板处理装置的一侧，并具有保持基板的第二姿势切换用保持构件，将基板的姿势切换成倒伏姿势和立起姿势；第二姿势切换用驱动器，使所述第二姿势切换部件摇动；环状部件，以能够循环行走的方式设置在竖立设置于所述第一姿势切换部件的一侧的支承框架上，并沿上下方向延伸；行走用驱动器，使所述环状部件循环行走；以及多个升降用保持构件，在圆周方向上隔开间隔地设置在所述环状部件上，并保持立起姿势的基板。