[发明专利]一种纳米线异质结阵列基紫外光探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种纳米线异质结阵列基紫外光探测器及其制备方法，所述的探测器包括玻璃基底、导电薄膜，所述的玻璃基底是石英玻璃基底，所述的导电薄膜上有作为紫外光吸收层的NiO-TiO2纳米线异质结阵列和至少一个N型欧姆电极，所述的NiO-TiO2纳米线异质结阵列上有至少一个P型欧姆电极。所述的制备方法，包括在导电薄膜上制备NiO-TiO2纳米线异质结阵列并在NiO-TiO2纳米线异质结阵列上制备P型欧姆电极和在导电薄膜上制作N型欧姆电极。本发明的核心结构由TiO2纳米线阵列和NiO纳米线阵列通过线-线对接构成纳米线异质结阵列结构，具有外量子效率和灵敏度高、响应速度快、暗电流小、体积小巧等诸多优点。

主权项

一种纳米线异质结阵列基紫外光探测器，包括玻璃基底(1)、导电薄膜(2)，所述的导电薄膜(2)位于玻璃基底(1)上；其特征在于：所述的玻璃基底(1)是石英玻璃基底(1)，所述的导电薄膜(2)上有作为紫外光吸收层的NiO-TiO2纳米线异质结阵列(3)和至少一个N型欧姆电极(5)，所述的NiO-TiO2纳米线异质结阵列(3)上有至少一个P型欧姆电极(4)。