[发明专利]一种大直径立式硅片承载器的制备方法

摘要

一种大直径立式硅片承载器的制备方法，其特点是：选用Ф20mm石英棒和Ф310mm石英片，作为制作卧式硅片承载器的原材料，石英硅含量≥99.998％；通过模具定位，沿底盘边缘竖向焊接四根石英棒；对石英棒相对的内侧分别横向进行开槽，四个石英棒相对应的槽在同一水平面上；在模具上定位上片石英片，并定位焊接后火焰抛光及退火；最终检验成品。采用了立式形状，承载数量多。同时，在承载硅片进行掺杂和氧化工艺时，并不需要辅助托盘，可以直接将立式硅片承载器放进掺杂和养化硅片石英容器内。本发明立式硅片承载器在应用时，可保障硅片间隙微小，不松动，提高硅片在氧化和扩散的均匀性和一致性，效果大大优于卧式硅片承载器。

主权项

一种大直径立式硅片承载器的制备方法，其特征在于：①选用Φ20mm石英棒和Φ310mm石英片，作为制作卧式硅片承载器的原材料，石英硅含量≥99.998％；②对Φ20mm石英棒进行切割，长度为920mm；③铣削石英片，作为底盘；④通过模具定位，沿底盘边缘竖向焊接四根石英棒；⑤火焰抛光及退火；⑥通过模具定位，对石英棒相对的内侧分别横向进行开槽，四个石英棒相对应的槽在同一水平面上；⑦对沟槽深度及边距进行一次检验；⑧在模具上定位上片石英片，并定位点焊；⑨主体焊接后火焰抛光及退火；⑩最终检验成品。