[发明专利]连续电解法制备三氟化氮工艺及设备

摘要

本发明公开了一种连续电解法制备三氟化氮工艺及设备，以熔融的NH3(HF)X或加入少量NaF、KF、CsF或LiF中的一种或几种为电解质体系，连续或间歇通入无水HF和NH3以补充电解液以及调节其熔盐比；电解槽(1)电解产生的阳极粗品进入热解器(2)，除去NxFy等不饱和氟氮化合物；经过热解的NF3粗品进入水洗塔(3)，除去一部分从电解槽挥发出来的HF等酸性气体；水洗后的粗品进入碱洗塔(4)，进一步除去酸性气体以及一些低氟化物等；碱洗后气体通过水环式真空泵(5)，使气体收集于气柜(6)中。该生产工艺连续、安全稳定，常温收集气体降低了NF3的生产成本，为后续电子工业用气体NF3的提纯提供有利条件。

主权项

一种连续电解法制备三氟化氮工艺，以熔融的NH3(HF)x或加入少量NaF、KF、CsF或LiF中的一种或几种为电解质体系，连续或间歇通入无水HF和NH3以补充电解液以及调节其熔盐比；电解槽电解产生的阳极粗品进入热解器，除去NxFy等不饱和氟氮化合物；经过热解的NF3粗品进入水洗塔，除去一部分从电解槽挥发出来的HF等酸性气体；水洗后的粗产品气进入碱洗塔，进一步除去酸性气体以及一些低氟化物等；碱洗后气体通过水环式真空泵，使气体收集于气柜中。