[发明专利]洁净室水喷雾加湿控制方法及加湿控制系统有效
申请号: | 201010148967.6 | 申请日: | 2010-03-25 |
公开(公告)号: | CN102200334A | 公开(公告)日: | 2011-09-28 |
发明(设计)人: | 白泳兑;李玧洙;庾炳玉;李敬洙 | 申请(专利权)人: | 元邦TECH株式会社 |
主分类号: | F24F11/02 | 分类号: | F24F11/02;F24F6/14 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 范莉 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明涉及洁净室水喷雾加湿控制方法及加湿控制系统,涉及将可精细喷雾水粒子的喷嘴直接设置于洁净室内部,并将用于监视/控制洁净室湿度变化的探测湿度传感器设置于洁净室,且构成可控制上述组件的控制部,用以根据目标湿度维持洁净室内部湿度的洁净室水喷雾加湿控制方法及加湿控制系统。探测洁净室的湿度,当洁净室内的湿度下降需加湿时,利用加湿喷嘴将所需加湿量直接精细喷雾至洁净室,从而可直接控制洁净室内的湿度,较之现有蒸汽加湿方式,可迅速稳定地控制洁净室内的湿度,除利用喷雾水的加湿效果之外,还可获得冷却效果,因此,具有节省加湿所需的锅炉运营能源费用,减少冷冻机的负荷的效果。 | ||
搜索关键词: | 洁净室 喷雾 加湿 控制 方法 控制系统 | ||
【主权项】:
一种洁净室水喷雾加湿控制方法,包括:各控制组通过湿度传感器,识别循环空气的湿度变化的步骤;将上述湿度传感器识别的湿度传送至控制部的步骤;基于传送到的信号由控制部进行计算,判定加湿与否的步骤;根据加湿要求启动加湿部供应雾化的喷雾水的步骤;上述按不同控制组的湿度信息被中央计算机接收的步骤。
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