[发明专利]测试头定位系统和方法有效
| 申请号： | 201010150668.6 | 申请日： | 2004-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN101806817A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 克里斯蒂安·米勒 | 申请（专利权）人： | 英特斯特公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/28 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 蔡胜利 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种负载支撑装置包括与负载相反侧相连的气动单元和连接器。连接器响应于气动单元的驱动平行于第一轴线移动负载。至少一个连接器绕着与第一轴线垂直的第二轴线转动负载。负载沿着第一轴线和绕着第二轴线具有柔顺性。至少一个气动单元沿着第一轴线和绕着第二轴线提供柔顺性。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 定位 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种负载支撑装置，包括：多个气动单元；多个与所述负载相反侧相连的连接器，所述连接器响应于所述多个气动单元的驱动平行于第一轴线移动所述负载，至少一个连接器绕着与所述第一轴线垂直的第二轴线转动所述负载，所述负载沿着所述第一轴线和绕着所述第二轴线具有柔顺性，至少一个所述气动单元沿着所述第一轴线和绕着所述第二轴线提供柔顺性。
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