[发明专利]一种可调节微机械器件弹性系数的变面积电容结构有效
| 申请号： | 201010151630.0 | 申请日： | 2010-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN101834065A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 金仲和;胡世昌;张霞;朱辉杰 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01G5/04 | 分类号： | H01G5/04;G01C19/56;G01P15/125 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 陈昱彤 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可调节微机械器件弹性系数的变面积电容结构，在每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正表面相互平行，其特征是：所述可动电极的正表面为矩形且固定电极的正表面为三角形或锯齿形，或者所述可动电极的正表面为三角形或锯齿形且固定电极的正表面为矩形；所述三角形正表面仅与所述矩形正表面的一条长边交叠。本发明克服了以往变面积式电容结构微机械器件中弹性系数无法调节的缺陷，通过调节单元固定电极与单元可动电极电压差的大小即可调节微机械器件在相应方向上总的弹性系数，提高了微机械传感器设计的灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调节 微机 器件 弹性 系数 面积 电容 结构 | ||
【主权项】：
一种可调节微机械器件弹性系数的变面积电容结构，在每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正表面相互平行，其特征是：所述可动电极的正表面为矩形且固定电极的正表面为三角形或锯齿形，或者所述可动电极的正表面为三角形或锯齿形且固定电极的正表面为矩形；所述三角形正表面仅与所述矩形正表面的一条长边交叠。
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