[发明专利]圆柱件外曲面有掩膜微结构的加工方法

摘要

本发明公开了一种圆柱件外曲面有掩膜微结构的加工方法，属于电化学加工领域。该方法采用浸渍涂胶及滚动光刻的方式使曲面零件表面图形化，或者采用激光等加工平面柔性绝缘屏蔽薄膜，并将其固定于曲面零件表面的方法，然后将圆柱体零件作为阳极，套筒作为阴极进行微细电解加工，从而在曲面表面形成微细结构。这种方法解决了曲面零件外表面具有复杂精细微结构的制造难题，能加工大面积的曲面微结构，特别是具有复杂图形及小尺寸的微结构。采用本发明所加工的曲面微细结构具有加工面积大，加工精度高，可加工复杂小尺寸微细结构的优点，且操作简单，效率高，加工成本低。

主权项

一种圆柱件外曲面有掩膜微结构的电解加工方法，其特征在于，包括下列步骤：（1）制作绝缘屏蔽膜：采用两种方式：平面加工和曲面加工，平面加工绝缘屏蔽膜要求制得的绝缘屏蔽膜必须是柔性绝缘薄膜，其表面微结构的制作通过刻蚀、激光加工方法，将平面加工柔性屏蔽膜固定于圆柱件外表面，制得附着在圆柱件上的绝缘屏蔽膜；曲面加工屏蔽膜通过浸渍涂胶及滚动光刻相结合的方法在圆柱件外表面制作微结构图形，制得绝缘屏蔽膜；（2）用夹持装置固定圆柱件与套筒，控制它们之间的间隙，间隙的大小可为微米到分米级； （3）用恒流泵控制电解液流动，使电解液充满圆柱件与套筒之间的间隙，并能够均匀地流动于圆柱件与套筒之间的间隙；（4）将圆柱件作为电解阳极，套筒作为电解阴极，分别与电源正负极连接，通电实施电解；（5）电解结束时，先断电，然后停止电解液的流动，从套筒中退出圆柱件，并从夹持装置上卸下；（6）去除绝缘屏蔽膜，完成加工。