[发明专利]套筒类零件内曲面无掩膜微结构的加工方法

摘要

本发明公开了一种套筒类零件内曲面无掩膜微结构的加工方法，属于电化学加工领域。该方法采用浸渍涂胶及滚动光刻方式使圆柱体表面图形化，或者采用激光等办法加工平面柔性绝缘屏蔽薄膜，并将其固定于圆柱体外表面，然后将套筒类零件作为阳极，带有绝缘屏蔽膜的圆柱体模具作为阴极，严格控制间隙，采用高频窄脉冲电源进行微细电解加工，从而在曲面内表面形成微细结构。这种方法解决了套筒类零件（如轴承套）内表面具有复杂精细微结构的制造难题，能加工大面积的曲面微结构，特别是具有复杂图形及小尺寸的微结构。采用本发明所加工的曲面微细结构具有加工面积大，加工精度高，可加工复杂小尺寸微细结构的优点，且操作简单，效率高，加工成本低。

主权项

一种套筒类零件内曲面无掩膜微结构的电解加工方法，其特征在于，包括下列步骤：1）制作绝缘屏蔽膜：采用两种方式：平面加工和曲面加工，平面加工绝缘屏蔽膜要求制得的绝缘屏蔽膜必须是柔性绝缘薄膜，其柔性绝缘薄膜的表面微结构通过刻蚀、激光加工方法制得，将平面加工制得的柔性屏蔽膜固定于圆柱体外表面，将附着在圆柱体上的绝缘屏蔽膜作为电解加工的圆柱体模具；曲面加工屏蔽膜通过浸渍涂胶及滚动光刻相结合的方法在圆柱体外表面制作微结构图形，制得绝缘屏蔽膜，作为电解加工的圆柱体模具；2）用夹持装置固定圆柱体模具与套筒类零件，同时控制它们之间的间隙与同轴度； 3）用恒流泵控制电解液流动，使电解液充满圆柱体模具与套筒类零件之间的间隙，并能够均匀地流动于圆柱体模具与套筒类零件之间的间隙；4）将圆柱体模具作为电解阴极，套筒类零件作为电解阳极，分别与高频窄脉冲电源连接，通电实施电解；5）电解结束时，先断电，然后停止电解液的流动，从套筒类零件中退出圆柱体模具，并从夹持装置上卸下套筒类零件，完成加工。