[发明专利]一种多端输出薄膜气敏传感器

摘要

本发明公开一种多端输出薄膜气敏传感器，同时集成电导信号拾取电极和电容信号拾取电极来获取气体敏感膜上的信号。所述的电导信号拾取电极可以获取气体敏感膜上的电导信号，环形叉指电容信号拾取电极可以获取气体敏感膜上的电容信号。所述环形叉指电容信号拾取电极同时可以作为加热丝，电极上通过电流时产生的电导热可对气体敏感膜进行加热。该气敏传感器集成电导信号和电容信号拾取电极，可同时对电导敏感型和电容敏感型气体进行检测，气敏的选择性和检测精度得到极大的增强。环形叉指电容电极加热，使得吸附的气体短时间内脱附，传感器得以快速恢复到初态，提高传感器的稳定性。同时这种新结构的传感器制造工艺简单，重复性好，灵敏度高，功耗低，生产成本低。

主权项

一种多端输出薄膜气敏传感器，包括传感器的绝缘衬底(9)、薄膜电极层(11)、气体敏感膜(10)，其特征在于，以绝缘材料作为传感器的绝缘衬底(9)，通过直流磁控溅射在绝缘衬底上淀积金属薄膜，接着采用光刻工艺形成薄膜电极层(11)，在薄膜电极层(11)上面设置气体敏感膜(10)。