[发明专利]平版印刷系统中的有用物传送系统无效
| 申请号： | 201010156656.4 | 申请日： | 2004-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN101833249A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | A·H·菲利普斯 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 描述了用于在平版印刷系统中向着或从标线片或晶片载物台传送有用物同时使影响载物台的物理破坏最小化的技术。这些技术包括以不与载物台物理接触的方式向着或从载物台传送有用物。可选地，在载物台处于静止位置时，有用物通过与载物台物理接触而被传送。除了向着或从载物台传送有用物，也可在载物台内设置诸如处理装置、缓存器(存储介质)、电气部件和机械部件等装置以使用或控制被传送的有用物。 | ||
| 搜索关键词： | 平版印刷 系统 中的 有用 传送 | ||
【主权项】：
一种平版印刷系统，包括：包括感应芯、初级感应线圈以及次级感应线圈的变压器，其中该感应芯具有第一端和第二端，并且该初级感应线圈卷绕该感应芯的第一端；适于支撑晶片或标线片的载物台，其中该载物台容纳该次级感应线圈；以及支撑载物台和感应芯以使该感应芯的第二端延伸到次级感应线圈中的框架，其中感应芯的每个侧面保持与次级感应线圈的内表面隔开一段最小距离，从而初级感应线圈内的电流产生一个使电流在次级感应线圈中流动的电磁场。
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