[发明专利]溅镀装置有效
| 申请号： | 201010161090.4 | 申请日： | 2010-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN102234768A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 王仲培 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种溅镀装置，其用来对金属材质的待镀工件镀膜。该溅镀装置包括一个用于对该待镀工件进行预热的第一腔体、一个用于对该待镀工件溅镀的第二腔体、一个设置于该第一腔体或该第二腔体内的传动机构、一个连接该第一腔体和该第二腔体的能处于开启或关闭状态的通道及至少一个设置于该传动机构上的磁性元件。该第一腔体及该第二腔体内设置有多个料杆。该传动机构用于经过该通道在该第一腔体及该第二腔体之间传送该料杆，该磁性元件跟随该传动机构一起运动并能吸起从该料杆上脱落的待镀工件。如此，方便从腔体中取出脱落的待镀工件。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种溅镀装置，其用来对金属材质的待镀工件镀膜，该溅镀装置具有一个用于对该待镀工件进行预热的第一腔体、一个用于对该待镀工件溅镀的第二腔体、一个设置于该第一腔体或该第二腔体内的传动机构及一个连接该第一腔体和该第二腔体的能处于开启或关闭状态的通道，该第一腔体及该第二腔体内设置有多个料杆，其特征在于：该溅镀装置还包括至少一个设置于该传动机构上的磁性元件，该传动机构用于经过该通道在该第一腔体及该第二腔体之间传送该料杆，该磁性元件跟随该传动机构一起运动并能吸起从该料杆上脱落的待镀工件。
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