[发明专利]正型感光性树脂组合物、树脂膜的制造方法、半导体装置和显示元件及其制造方法有效
| 申请号： | 201010161446.4 | 申请日： | 2004-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN101833244A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 番场敏夫;池田拓司;矢野达也;平野孝 | 申请（专利权）人： | 住友电木株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/022 | 分类号： | G03F7/022;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 吴小瑛;李英艳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种包含碱性可溶性树脂(A)、重氮醌化合物(B)、不含酚性羟基含-CH2OH基的化合物(C)所构成的正型感光性树脂组合物；采用该组合物的图案状树脂膜的制造方法；采用该组合物的半导体装置；及该半导体装置的制造方法。本发明还提供一种正型感光性树脂组合物；采用该组合物的图案状树脂膜的制造方法；采用该组合物的半导体装置及半导体元件；及该半导体装置及显示元件的制造方法，其中，正型感光性树脂组合物含有碱性可溶性树脂(A)、重氮醌化合物(B)、2种或2种以上的混合溶剂(D)，而混合溶剂(D)含有γ-丁内酯及丙二醇单烷基醚，γ-丁内酯及丙二醇单烷基醚的合计量相对溶剂总量为70重量％或70重量％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 制造 方法 半导体 装置 显示 元件 及其 | ||
【主权项】：
一种正型感光性树脂组合物，该组合物包含碱性可溶性树脂(A)、重氮醌化合物(B)、2种或2种以上的混合溶剂(D)，其特征在于，混合溶剂(D)含有γ-丁内酯及丙二醇单烷基醚，γ-丁内酯及丙二醇单烷基醚的合计量相对溶剂总量为70重量％或70重量％以上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友电木株式会社，未经住友电木株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010161446.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
