[发明专利]一种微型电容式气体传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201010161765.5 | 申请日： | 2010-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN101825511A | 公开（公告）日： | 2010-09-08 |
| 发明（设计）人： | 杜晓松;蒋亚东;靖红军 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型电容式气体传感器，包括上电极平板、下电极平板、若干支柱和介质薄膜，支柱设置在上电极平板和下电极平板之间，使两者之间形成空腔，所述介质薄膜涂覆在支柱上以及上下电极的内表面上，其特征在于：①相邻支柱上的介质薄膜彼此不接触，保留的空腔结构形成气体扩散通道；②上电极平板上不设置气孔，上电极平板和下电极平板之间的侧壁开放，使气体从侧壁进入。本发明的微型平板电容式气体传感器可以对浓度极低的多种待测气体进行检测，具有响应快、灵敏度高、检测对象广泛的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 电容 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微型电容式气体传感器，包括上电极平板、下电极平板、若干支柱和介质薄膜，支柱设置在上电极平板和下电极平板之间，使两者之间形成空腔，所述介质薄膜涂覆在支柱上以及上下电极的内表面上，其特征在于：①相邻支柱上的介质薄膜彼此不接触，保留的空腔结构形成气体扩散通道；②上电极平板上不设置气孔，上电极平板和下电极平板之间的侧壁开放，使气体从侧壁进入。
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