[发明专利]一种探测晶片偏移位置的方法有效
| 申请号： | 201010163830.8 | 申请日： | 2010-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN101832757A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 陶珩;王伟娜;朱玉东;袁群艺 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G06F17/10 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张妍 |
| 地址： | 201201 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种探测晶片偏移位置的方法，通过确定晶片中心点偏移来探测晶片偏移位置，该方法在晶片周围设置若干探测器，将所述的探测器的探测方向沿晶片预定位置的径向布置，任意两个探测器之间都不存在线性位置关系，根据设置的探测器的数量不同，可选择采用两点法、三点法，或者均值两点法、均值三点法来测量计算晶片偏移位置。本发明改善了制程中晶片传输的重复精度，避免了因为晶片位置偏移而导致的晶片损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探测 晶片 偏移 位置 方法 | ||
【主权项】：
一种探测晶片偏移位置的方法，该方法在晶片周围设置若干探测器，其特征在于，将所述的探测器的探测方向沿晶片预定位置的径向布置，任意两个探测器之间都不存在线性位置关系，探测器相对于晶片预定位置以及制程室的位置固定，利用该若干探测器进行探测的方法包含以下步骤：步骤1、判断设置了几个探测器，若探测器个数n＝2，则进行步骤2，若探测器个数n＝3，则进行步骤3，若探测器个数n≥4，则进行步骤4；步骤2、利用两点法进行探测，计算得到晶片圆心偏移距离和偏移角度；步骤3、选择测量计算方法，若采用两点法，则进行步骤3.1，若采用三点法，则进行步骤3.2；步骤3.1、重复采用两点法计算得到晶片圆心偏移距离和偏移角度；步骤3.2、采用三点法计算得到偏移后晶片的圆心坐标；步骤4、选择测量计算方法，若采用均值两点法，则进行步骤4.1，若采用均值三点法，则进行步骤4.2；步骤4.1、采用均值两点法计算得到晶片圆心偏移距离和偏移角度；步骤4.2、采用均值三点法计算得到偏移后晶片的圆心坐标。
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