[发明专利]适于与外涂的光致抗蚀剂一起使用的涂层组合物有效
| 申请号： | 201010163965.4 | 申请日： | 2010-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN101900944A | 公开（公告）日： | 2010-12-01 |
| 发明（设计）人： | J·F·卡梅隆;J·W·宋;J·P·阿马拉;G·P·普罗科波维奇;D·A·瓦莱里 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;G03F7/16;C08L33/10;C08L35/00;C09D133/10;C09D135/00;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种有机涂层组合物，尤其是减反射涂层组合物，其包含二烯烃/二烯亲和物的反应产物。本发明的优选组合物有益于减少从基体背面到外涂的光致抗蚀剂层和/或作为平面化、保形或通孔填充层的曝光辐射的反射。 | ||
| 搜索关键词： | 适于 光致抗蚀剂 一起 使用 涂层 组合 | ||
【主权项】：
一种涂敷的基体，所述涂敷的基体包含：(a)包含树脂的涂层组合物层，该树脂包含二烯烃和二烯亲和物的反应产物；和(b)所述涂层组合物层之上的光致抗蚀剂层。
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