[发明专利]一种自适应变阻尼超精密减振器有效
| 申请号： | 201010164569.3 | 申请日： | 2010-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN101818777A | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 陈学东;蒲华燕;罗欣;曾理湛;姜伟;李一浩 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | F16F9/02 | 分类号： | F16F9/02 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种自适应变阻尼超精密减振器，其结构为：金属壳体外部呈上端开口的圆柱形，金属壳体内部中空，且由隔板隔离为上下两个中空部分，其剖面呈H形；下部的中空部分形成下腔室，上部的中空部分与活塞机构通过膜结构密封连接形成上腔室；在下腔室底部开有进气口，下腔室与上腔室之间安装有带节流阀的连通管路；负载连接板与活塞机构上端面固定连接；负载连接板上装有绝对速度传感器，在金属壳体上端部装有非接触式的电涡流接近传感器，在金属壳体与负载连接板之间安装有主动作动器，负载连接板用于与负载固定连接。本发明能够实现对垂向振动的良好衰减，能够进行在线自适应，而无须离线调试。本发明可以为光刻机及其他的精密设备提供超静的环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自适应 阻尼 精密 减振器 | ||
【主权项】：
一种自适应变阻尼超精密减振器，其特征在于，该超精密减振器的结构为：金属壳体(1)外部呈上端开口的圆柱形，金属壳体(1)内部中空，且由隔板(10)隔离为上下两个中空部分，其剖面呈H形；下部的中空部分形成下腔室(3)，上部的中空部分与活塞机构(6)通过膜结构密封连接形成上腔室(2)；在下腔室(3)底部开有进气口(9)，下腔室(3)与上腔室(2)之间安装有带节流阀(8)的连通管路；负载连接板(7)与活塞机构(6)上端面固定连接；负载连接板(7)上装有绝对速度传感器(15)，在金属壳体(1)上端部装有非接触式的电涡流接近传感器(16)，在金属壳体(1)与负载连接板(7)之间安装有主动作动器，负载连接板(7)用于与负载(20)固定连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华中科技大学，未经华中科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010164569.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：汽车轮胎中央充放气系统桥轮阀总成
- 下一篇：一种耐火砖夹具
