[发明专利]一种氧化锌基溅射靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201010166497.6 | 申请日： | 2010-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN101845614A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 杨晔;宋伟杰;张宇龙;魏铁锋;张贤鹏;谭瑞琴 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C4/08 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化锌基溅射靶材的制备方法，包括：将掺杂氧化锌纳米粉体经30MPa～150MPa的模压保压30s～300s，再经120MPa～300MPa冷等静压保压60s～600s，接着以0.5℃/min～10℃/min升温速率升到950℃～1300℃保温1min～30min，然后以10℃/min～100℃/min的降温速率降到650℃～1100℃保温2h～40h，最后以0.5℃/min～10℃/min的降温速率降至室温，经切割、打磨，制成氧化锌基溅射靶材。本发明采用特定的两步烧结参数，实现了低烧结温度下制得致密度高于98％、粒径细小均匀且尺寸为0.5μm～20μm、掺杂成分均匀的靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 溅射 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化锌基溅射靶材的制备方法，包括步骤：(1)将掺杂氧化锌纳米粉体经30MPa～150MPa的模压，保压30s～300s，得到模压坯料；(2)将模压坯料经120MPa～300MPa冷等静压，保压60s～600s，得到冷等静压坯料；(3)将冷等静压坯料先以0.5℃/min～10℃/min的升温速率升到第一步设定温度950℃～1300℃，并保温1min～30min，然后以10℃/min～100℃/min的降温速率降到第二步烧结温度650℃～1100℃，并保温2h～40h，最后以0.5℃/min～10℃/min的降温速率降至室温，经切割、打磨，制成氧化锌基溅射靶材。
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