[发明专利]具有晶圆尺寸贴片的封装方法有效
申请号: | 201010167016.3 | 申请日: | 2010-04-14 |
公开(公告)号: | CN102222627A | 公开(公告)日: | 2011-10-19 |
发明(设计)人: | 龚玉平 | 申请(专利权)人: | 万国半导体(开曼)股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/60;H01L21/78 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 王敏杰 |
地址: | 英属西印度群岛开曼群岛大开曼岛K*** | 国省代码: | 开曼群岛;KY |
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摘要: | 本发明公开了一种具有晶圆尺寸贴片的封装方法,其特点是,包括:一晶圆,所述晶圆具有晶圆顶部及晶圆底部,在所述晶圆顶部制作出数个芯片,并且在所述晶圆顶部的芯片之间设有凹槽区域,所述凹槽区域将数个芯片划分为各个芯片单元,每个芯片单元的表面设有芯片顶部接触区;一贴片,所述贴片设有与晶圆上的各个芯片单元对应的区域,在每个区域中,所述贴片具有多个贴片接触区及贴片连筋,所述贴片连筋设置在凹槽区域内;一塑封体塑封晶圆顶部、芯片及贴片,最后需对整个封装体进行晶圆底部研磨或切割露出芯片电极以及切割封装体。本发明简化了封装的工艺流程,减小了芯片的封装体积,降低了封装成本,提高了芯片的散热性能。 | ||
搜索关键词: | 具有 尺寸 封装 方法 | ||
【主权项】:
具有晶圆尺寸贴片的封装方法,其特征在于,包括:提供一晶圆,所述晶圆具有晶圆顶部及晶圆底部,在所述晶圆顶部形成数个芯片,并且在所述晶圆顶部的芯片之间设有与芯片对应的凹槽区域,每个芯片的表面设有数个芯片顶部电极接触区;提供一贴片,所述贴片设有与晶圆上的各个芯片对应的区域,在每个区域中,所述贴片具有与所述芯片顶部电极接触区对应的数个贴片接触区,并且所述贴片还具有与贴片接触区连接的贴片连筋,所述贴片连筋向下成长方体凸条;将贴片接触区与芯片顶部电极接触区连接,同时将贴片连筋设置在晶圆的凹槽区域内;提供一塑封体塑封晶圆顶部、芯片及贴片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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