[发明专利]高速多级透平真空泵及其抽真空方法

摘要

本发明公开了一种高速多级透平真空泵及其抽真空方法，属于透平真空泵技术领域，通过多级高速离心叶轮实现了多工艺点、不同真空度的抽取，其驱动电机通过齿轮增速箱升速后与主轴连接，主轴支承悬架于机壳内，在主轴上同向串接设置一组离心叶轮，末级离心叶轮外侧配合设置平衡盘，各级离心叶轮与机壳之间分别构成单个工作室，各工作室之间通过流道逐个连通，机壳上相应设置一组吸入口和一个排出口，平衡盘与机壳之间构成平衡腔，机壳上配合设置将平衡腔与各吸入口连通的平衡管；采用了单轴多级抽取结构，使得单机既能实现多个工艺点、多级真空度的同时抽取，大幅度降低真空系统能耗，同时具有结构紧凑、可靠性高、无需工封液环、环境友好等优点。

主权项

高速多级透平真空泵，其特征在于包括机壳(16)及配合连接的驱动电机(1)、齿轮增速箱(3)，齿轮增速箱(3)采用单级增速，其输入端与驱动电机(1)传动连接，输出端与主轴(4)前端传动连接，主轴(4)通过安装于机壳(16)两端的前轴承座(5)、后轴承座(5a)内的径向滑动轴承(14a、14)支承悬架于机壳(16)内，机壳(16)内的主轴(4)上按一定间距同向串接设置一组离心叶轮(7)，末级离心叶轮(7)外侧配合设置平衡盘(8)，各级离心叶轮(7)与机壳(16)之间分别构成单个工作室，各工作室之间通过流道逐个连通，机壳(16)上相应设置一组分别与各工作室连通的吸入口(6)和一个与最尾端的工作室连通的排出口(9)，平衡盘(8)与机壳(16)之间构成平衡腔，机壳(16)上配合设置将平衡腔与各吸入口(6)连通的平衡管(10)。