[发明专利]衬底涂层及其形成方法有效
| 申请号： | 201010170129.9 | 申请日： | 2010-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN102234785A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 陈少扬 | 申请（专利权）人： | 永恒科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/22 | 分类号： | C23C16/22;C23C16/26;C23C16/44;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘国伟 |
| 地址： | 中国香港湾仔*** | 国省代码： | 中国香港;81 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种衬底涂层及其形成方法。所述衬底涂层包含：第一层，其用于附着于衬底上，所述第一层的成分至少包含硅含量丰富的碳，其中硅含量约等于或大于碳含量；及第二层，其附着于所述第一层上，所述第二层的成分至少包含掺杂氟的类金刚石碳。本发明所提供的衬底涂层不但具有易清洁、坚硬防刮及表面平滑的功效，更具有较佳的附着性而不易脱落的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 涂层 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种衬底涂层，其包含：第一层，其用于附着于衬底上，所述第一层的成分至少包含硅含量丰富的碳，其中硅含量约等于或大于碳含量；及第二层，其附着于所述第一层上，所述第二层的成分至少包含掺杂氟的类金刚石碳。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
