[发明专利]一种硅基合金旋转靶材及其制备方法无效
| 申请号： | 201010170534.0 | 申请日： | 2010-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN101921988A | 公开（公告）日： | 2010-12-22 |
| 发明（设计）人： | 周其刚;黄德燕;马敬山 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22D18/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510880 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种新型的靶材及其制备工艺，目的是提供了一个生产管状溅射靶材过程和一种以硅基合金旋转靶材。从一个铝含量5-50％(占重量的百分比)，以硅为基础的合金生产溅镀靶材制程中，可以看到靶材材料的生产是由铸造技术在这些材料被融化和真空铸造而成，从而使得铸造在一个空心圆柱铸造模具中进行。靶材材料是通过真空熔炼铸造技术实现的，这种铸造是在真空状态下将熔化的合金材料浇铸在一个空心圆柱模具中，将铸造的管状部分，把它焊接到一个支撑的管上，尤其是额外铝材的加入，产生了良好的溅射靶材，可用在阴极管。用于生产硅涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 旋转 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种硅基合金旋转靶材，其特征在于以真空熔炼技术制备硅基合金旋转靶材。
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