[发明专利]HfO2/SiO2溶胶凝胶玻璃全息光栅在审
| 申请号： | 201010171073.9 | 申请日： | 2010-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN102243327A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 谢永军 | 申请（专利权）人： | 西安格瑞微纳光电技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新区锦*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶凝胶玻璃制作衍射光栅的方法，其通过改变所述HfO2/SiO2溶胶凝胶玻璃中HfO2和SiO2的比例提高混合体系折射率、抗辐射损伤阀值和热稳定性。用X射线作曝光光源，利用曝光部分与未曝光部分的溶解度差，在所述HfO2/SiO2溶胶凝胶玻璃薄膜上制备衍射光栅。本发明解决了背景技术中工艺复杂、鬼线和杂散光、造价昂贵的问题。本发明无需离子刻蚀，制作方法简单，设备容易操作，成本低廉，衍射效率较高，热稳定性较好，主要应用于光纤通信系统扩容的密集波分复用器。 | ||
| 搜索关键词： | hfo sub sio 溶胶 凝胶 玻璃 全息 光栅 | ||
【主权项】：
一种具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶凝胶玻璃制作衍射光栅方法，其实现步骤包括：(I)合成具有光敏性HfO2/SiO2溶胶凝胶玻璃溶胶；(II)制作HfO2/SiO2溶胶凝胶玻璃全息光栅。
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