[发明专利]循环蒸镀装置在审
| 申请号： | 201010171125.2 | 申请日： | 2010-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN101956174A | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 杨明生;叶宗锋;郭远伦;刘惠森;范继良;王勇;王曼媛 | 申请（专利权）人： | 东莞宏威数码机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种循环蒸镀装置，其包括主腔体及至少两组活动蒸发舟单元，活动蒸发舟单元包括驱动机构、长轴、蒸发舟及呈中空结构的副腔体，副腔体与主腔体连接，长轴贯穿地枢接于副腔体上，长轴的一端与驱动机构连接，长轴的另一端与蒸发舟连接，蒸发舟伸入主腔体内并与主腔体密封地枢接，驱动机构通过长轴带动蒸发舟运动；其中一组活动蒸发舟单元在主腔体内进行蒸镀工艺时，另外的活动蒸发舟单元可在其副腔体内更换或添加蒸镀材料，清洁或维护蒸发舟等，完成后再将该蒸发舟送入主腔体进行蒸镀，使蒸镀材料供给和添加及时方便；如此循环交替，使主腔体内不间断的进行蒸镀，实现生产的连续性，提高蒸镀效率，同时使蒸镀装置的结构简单、操作便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 循环 装置 | ||
【主权项】：
一种循环蒸镀装置，包括主腔体及至少两组活动蒸发舟单元，所述主腔体与抽真空系统连通，所述活动蒸发舟单元密封地枢接于所述主腔体上，其特征在于：所述活动蒸发舟单元包括驱动机构、长轴、蒸发舟及呈中空结构的副腔体，所述副腔体与所述主腔体连接，所述长轴贯穿地枢接于所述副腔体上，所述长轴的一端与所述驱动机构连接，所述长轴的另一端与所述蒸发舟连接，所述蒸发舟伸入所述主腔体内并与所述主腔体密封地枢接，所述驱动机构通过所述长轴带动所述蒸发舟运动。
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