[发明专利]测量台架及其电气控制的方法有效
| 申请号： | 201010171366.7 | 申请日： | 2010-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN101839681A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | H·费希尔 | 申请（专利权）人： | 赫尔穆特费希尔有限责任公司电子及测量技术研究所 |
| 主分类号： | G01B5/00 | 分类号： | G01B5/00;G01B5/06;G01B7/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 姜云霞;曹若 |
| 地址： | 德国辛*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及测量台架及其电气控制的方法。一种用于保持测量探针的，特别是用于测量薄层厚度的测量台架，还涉及一种用于控制该测量台架的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 台架 及其 电气控制 方法 | ||
【主权项】：
一种用于电气控制测量台架(11)的方法，测量台架(11)具有至少一个测量探针(26)从开始位置(31)到测量位置(32)的行进运动，尤其用于测量薄层厚度，在该方法中，利用驱动单元(35)启动电动机(34)用于执行至少一个测量，驱动单元(35)用于上下移动移位构件(23)，测量探针(26)通过保持器(24)紧固在移位构件(23)上，其特征在于，-在执行首次测量前，执行学习程序，-其中，测量探针(26)以预定的行进速度降低直到测量探针(26)触碰到测量物(14)的表面，-其中，在驱动单元(35)和移位构件(23)之间，通过在测量探针(26)向下触碰到测量物(14)的表面之后驱动单元(35)相对于移位构件(23)断开，来启动飞轮机构(51)，-其中，检测到飞轮机构(51)的启动并由开关装置(58)发出停止电动机(34)的控制信号，以及-其中，至少预置的开始位置(31)和飞轮机构(51)的启动之间的行进被检测到，且随后结束学习程序。
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