[发明专利]气体分布喷洒模块与镀膜设备

摘要

本发明公开了一种气体分布喷洒模块与镀膜设备，其中的气体分布喷洒模块包括第一、第二、第三与第四扩散板。其中，第二扩散板位于第一扩散板底下、第三扩散板位于第二扩散板底下以及第四扩散板位于第三扩散板底下并与第三扩散板相隔一间距。所述第三扩散板分为面积比为1∶1至1∶5的一内部区域与一外部区域，且第三扩散板具有多个气孔分布于内部区域与外部区域，其中内部区域内与外部区域内的气孔的面积比为1∶1至1∶5。本发明的气体分布喷洒模块以及镀膜设备，能使气体充分的混合，并解决气体喷洒到基板的不均匀性。而且，本发明的气体分布喷洒模块不但易于组装，其加工制造成本也低，连带具有维修保养简单容易的效果。

主权项

一种气体分布喷洒模块，其特征在于，包括：一第一扩散板；一第二扩散板，位于该第一扩散板底下；一第三扩散板，位于该第二扩散板底下；以及一第四扩散板，位于该第三扩散板底下并与该第三扩散板相隔一间距，其中：该第三扩散板分为一内部区域与一外部区域，该内部区域与该外部区域的面积比为1∶1至1∶5，且该第三扩散板具有多个气孔分布于该内部区域与该外部区域，该内部区域内与该外部区域内的该些气孔的面积比为1∶1至1∶5。