[发明专利]一种热电堆红外探测器有效
| 申请号： | 201010173938.5 | 申请日： | 2010-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN102244190A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞文;焦斌斌;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L35/32 | 分类号： | H01L35/32;H01L35/02 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 张磊 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种热电堆红外探测器，包括全镂空结构的衬底以及其上的热电堆、第一红外吸收层和钝化层，以及形成于钝化层之上的反射层，以及通过牺牲层释放技术形成的第二红外吸收层。所述探测器提高了红外吸收率，并使热电偶对冷端与热端的温度差增大，从而使探测器的响应率变大，灵敏度提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热电 红外探测器 | ||
【主权项】：
一种热电堆红外探测器，包括全镂空结构的衬底以及其上的热电堆、第一红外吸收层和钝化层，其特征在于，还包括形成于钝化层之上的反射层，以及与第一红外吸收层接触且能遮挡所述反射层的第二红外吸收层。
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