[发明专利]一种用于大型真空腔体批量真空检漏的方法及系统有效
| 申请号： | 201010175750.4 | 申请日： | 2010-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN101839794A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 张志成;徐磊;唐建强;阮根才;李天普;戴永成 | 申请（专利权）人： | 杭州大和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 王兵;黄美娟 |
| 地址： | 310053 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种用于大型真空腔体批量真空检漏的方法，对大型真空产品检漏时先粗抽真空再用高精度检漏仪检漏，其步骤如下：1、将被检真空产品洗净后，与真空管道接口联接，检查系统气路；2、对多个被检真空产品同时进行粗抽；3、待被检测产品中的真空度达到高真空度后，用高精度的检漏仪对被检测产品进行精抽和检查。本发明的有益效果：大大缩短了检测时间；提高了检漏仪检测精度；延长检漏仪的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 大型 空腔 批量 真空 检漏 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种用于大型真空腔体批量真空检漏的方法，对大型真空产品检漏时先粗抽真空再用高精度检漏仪检漏，其步骤如下：①将被检真空产品洗净后，与真空管道接口联接，检查系统气路；②对多个被检真空产品同时进行粗抽；③待被检测产品中的真空度达到高真空度后，用高精度的检漏仪对被检测产品进行精抽和检查。
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