[发明专利]等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201010178125.5 | 申请日： | 2010-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN102243976A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 张小昂 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波;逯长明 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体加工设备，其电极开启机构包括起吊部件，所述起吊部件的外侧部安装于所述等离子体加工设备的电极壳体(22)的内壁，且在所述电极壳体(22)的带动下随之在竖直方向上移动，所述起吊部件的内侧部可选择地与所述等离子体加工设备的调整支架(23)在竖直方向上卡接或者脱离。避免了起吊部件与调整支架(23)在重新连接的过程中造成的调整支架(23)的倾斜，保证了调整支架(23)起吊后重新落下后与反应腔体(0)之间的定位可靠性，进而提高了上电极重新关闭时的定位可靠性，提高了等离子体处理设备的工作性能。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种等离子体处理设备，包括腔室(0)以及支承于所述反应腔室(0)上方的调整支架(23)、上电极、下电极和包括起吊部件的电极开启机构，其特征在于，所述起吊部件的外侧部安装于所述等离子体处理设备的电极壳体(22)的内壁，且在所述电极壳体(22)的带动下随之在竖直方向上移动，所述起吊部件的内侧部可选择地与所述等离子体处理设备的调整支架(23)在竖直方向上卡接或者脱离。
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