[发明专利]基于表面涂覆的微小型零件集成制造方法

摘要

本发明涉及一种基于表面涂覆的微小型零件集成制造方法。该技术综合了精密/超精密加工、表面涂覆及精密测量等多项技术，采用先“-”(去除加工)后“+”(结合加工)的零件精密加工方式，在精密测量的基础上，通过精确控制涂(镀)层厚度对零件尺寸进行补偿，鉴于涂覆层厚度可精确控制在纳米级，从而提高了加工精度和表面质量。精密/超精密加工技术加工材料范围广，方法简单，可实现三维复杂结构形状微小型零件的批量化生产；广泛适用于钢、合金等多种微小型零件的加工中。

主权项

一种基于表面涂覆的微小型零件集成制造方法，其特征在于它是通过以下方法步骤实现：1)根据设计要求对所有待加工的微小零件/结构进行加工工艺与尺寸链分析，并根据经济加工精度，放大微小系统中零件的制造公差或调整结构的基本尺寸，确定机械加工工序尺寸。2)按照上一步所确定的机械加工工序尺寸对微小结构/零件进行精密加工，使微小结构/零件加工成为传统意义上的不可修复的废品；3)对加工后的微小结构/零件待加工表面进行精密测量，并根据与最终设计尺寸的比较，确定涂覆补偿量；4)对微小结构/零件进行超声波清洗；5)选用合适的沉积方法、涂层材料及工艺参数，根据步骤3)中的测量结果对零件待加工表面采用表面涂覆，进行尺寸补偿，并进行在线测量对涂覆厚度进行实时监测，精确控制涂(镀)层厚度，达到设计要求的尺寸精度与表面质量。