[发明专利]常压下平板电极射频电容耦合氩氧/氩氮等离子体发生器

摘要

一种常压下平板电极射频电容耦合氩氧/氩氮等离子体发生器，属于等离子体技术领域。其特征在于：该发生器有两个表面彼此平行的水冷平板金属电极组成，其中一电极经过匹配器与射频电源连接，另一电极与地连接，在开放的常压下放电；靠近入气口的电极上粘结绝缘材料板条构成入气通道，该进气通道通过多个进气导管与配气系统相连，在电极极板缝隙间放电形成的均匀稳定的冷等离子体经电极出口端向外流出，形成大面积的等离子体射流。本发明的效果和益处是在以氩氧、氩氮二元气体为工作气体产生低温、大面积、均匀稳定、活性粒子浓度高的冷等离子体射流，从而实现等离子体技术在表面清洗、灭菌、消毒、电路板氧化和表面改性上的应用。

主权项

一种常压下平板电极射频电容耦合氩氧/氩氮等离子体发生器，其特征在于：包括两个表面光滑且相互平行的平板形水冷金属电极，一块绝缘板条，石英玻璃片及绝缘密封外壳；等离子体放电主体包括射频驱动电极和地电极，其中射频电极经过匹配器和射频电源相连，地电极接地，在放电区间的两侧用石英玻璃将其密封，放电电极用绝缘材料固定在电极座外壳上，在绝缘材料的一端设有多个通气孔，该通气孔与进气导管相连，进气导管与配气系统相连接，该通气孔将气体引入气体缓冲室后通过两个电极间构造的送气通道后进入放电区间；所述的平板型等离子体发生器，其射频电极和地电极为水冷金属平板电极，该电极表面光滑且相互平行，在该发生器近邻气体缓冲室的电极表面粘结条形绝缘块，该条形绝缘块的总厚度小于两金属电极之间的间距，放置的方位跟气流的方向垂直，从而形成送气通道，在该条形绝缘块构造的送气通道下游未被条形绝缘块覆盖的裸露金属电极间形成等离子体放电区域。