[发明专利]一种脉动缓冲器及研磨液供应系统

摘要

本发明提供一种脉动缓冲器，包括壳体，壳体的两侧分别设置有液体入口和液体出口；壳体内设置有气体腔，气体腔的侧壁由可伸缩的伸缩膜组成，气体腔的顶面和底面由隔膜和壳体的底面组成，伸缩膜的一端固定于壳体的底面，另一端固定连接隔膜；气体腔内设置有中心轴和中心轴套，中心轴套的底面固定于壳体的底面，中心轴套的顶面设置有开口，中心轴通过中心轴套顶面的开口，其第一端连接隔膜，第二端位于中心轴套内；中心轴的第二端具有限位末端，限位末端的宽度大于中心轴套顶面的开口的间距；气体腔的底面设置有气体入口，用于向气体腔内通入压缩气体。该脉动缓冲器结构简单，相较其他种类的脉动缓冲器体积更小，具有很好的平滑脉动效果。

主权项

一种脉动缓冲器，包括壳体，所述壳体的两侧分别设置有液体入口和液体出口；所述壳体内设置有气体腔，其特征在于，所述气体腔的侧壁由可伸缩的伸缩膜组成，所述气体腔的顶面和底面由隔膜和所述壳体的底面组成，所述伸缩膜的一端固定于所述壳体的底面，另一端固定连接所述隔膜；所述气体腔内设置有中心轴和中心轴套，所述中心轴套的底面固定于所述壳体的底面，所述中心轴套的顶面设置有开口，所述中心轴通过所述中心轴套顶面的开口，其第一端连接所述隔膜，第二端位于所述中心轴套内；所述中心轴的第二端具有限位末端，所述限位末端的宽度大于所述中心轴套顶面的开口的间距；所述气体腔的底面设置有气体入口，用于向所述气体腔内通入压缩气体。