[发明专利]一种半导体专用设备用晶片吸附搬运机构

摘要

一种半导体专用设备用晶片吸附搬运机构，该机构包括吸片缓冲装置和真空系统，调整座和固定板固定在摆臂上，弹簧两端分别与弹簧导杆和吸片台连接，弹簧导杆由紧固螺钉固定在固定板上，螺纹圆柱销螺纹端拧入弹簧导杆中，小轴一端凸台卡在弹簧导杆上，小轴凸台开有滑槽可沿螺纹圆柱销光滑端滑动，小轴另一端拧入吸片台，小轴中心开有气道，吸片台一端面上拉伸凸台作为弹簧的导杆，吸片台另一端面均匀开有环形的凹槽用来吸附硅片，在吸片的一瞬间，随着弹簧的压缩吸片台和小轴沿螺纹圆柱销一起向上滑动，起到缓冲的作用，防止碎片。该装置具有结构紧凑，安装简单，应用方便。成本低廉的特点，可广泛应用于半导体专用设备中晶片的抓取搬运。

主权项

一种半导体专用设备用晶片吸附搬运机构，其特征在于：其包括升降缓冲吸附台以及与升降缓冲吸附台可调连接的摆臂(7)；升降缓冲吸附台包括装配在一起的弹簧导杆(1)、固定板(6)、吸片台(9)、小轴(2)、螺纹圆柱销(3)、弹簧(4)、紧固螺钉(5)，其中所述弹簧导杆(1)与固定板(6)固定连接，小轴(2)穿过弹簧导杆(1)与固定板(6)上设有的通孔，小轴(2)的上端设有端帽(13)卡在弹簧导杆(1)上，小轴(2)的下端螺纹连接在吸片台(9)上，弹簧(4)套在小轴(2)上，弹簧(4)上下两端分别与于弹簧导杆(1)和吸片台(9)连接，弹簧导杆(1)上贴着小轴(2)的端帽(13)固定有螺纹圆柱销(3)，小轴(2)的端帽(13)上开设有滑槽可沿螺纹圆柱销(3)光滑面滑动，小轴(2)中心开有气道；吸片台(9)下表面上均匀布设有方便吸附硅片的环形的凹槽，并设有将各环形凹槽沟通的两条互垂直的径向凹槽。