[发明专利]悬浮输送装置以及悬浮单元

摘要

本发明涉及悬浮输送装置及悬浮单元。在悬浮输送装置中，在悬浮单元主体的上面形成喷嘴，在悬浮单元主体的下侧设置空心管状的悬浮单元脚，悬浮单元脚的内部与容器的内部连通，在悬浮单元主体的设置孔中，以能够绕铅垂轴心旋转的方式嵌入安装有调节悬浮单元脚的一对开口部的开口面积的圆形的调节部件。根据上述悬浮输送装置，即便在大型的基板上存在弯曲等变形的情况下，也能够避免基板的输送宽度方向的端面与侧悬浮单元等的干扰，从而能够足以防止基板的损伤。

主权项

一种悬浮输送装置，将基板向输送方向进行悬浮输送，其特征在于，具备：设置在装置框架上，并向上述输送方向输送基板的输送机构；设置在上述装置框架上，内部与提供悬浮气体的悬浮气体供给源相连接，并容纳悬浮气体的容器；以及沿着上述输送方向以及与上述输送方向正交的输送宽度方向设置在上述容器上，并利用悬浮气体的压力使基板悬浮的多个悬浮单元，多个上述悬浮单元的每一个具备：在上面形成有喷出悬浮气体的喷嘴的空心状的悬浮单元主体；和设置在上述悬浮单元主体的下侧，内部与上述容器的内部连通，并在上侧具有将悬浮气体导入到上述悬浮单元主体的内部的开口部的空心状的悬浮单元脚，多个上述悬浮单元之中排列在上述输送宽度方向的两侧的侧悬浮单元，除了具备上述悬浮单元主体以及上述悬浮单元脚之外，还具备调节上述开口部的开口面积的调节部件。