[发明专利]半导体专用设备上吸片台清洗装置

摘要

本发明涉及一种清洗装置，特别是一种用来清洗半导体专用设备上吸片台的清洗装置。该装置包括喷淋系统、迷宫密封系统和毛刷棍系统，毛刷棍穿过毛刷罩安装在毛刷轴上，毛刷轴上依次套有密封环、轴承、内隔圈、外隔圈、轴承、端盖、轴承锁母，轴承锁母通过螺纹固定在毛刷轴上，压盖和端盖固定在轴承座上，两个喷水管安装在毛刷罩上。毛刷棍上均匀分布着浓密的尼龙毛刷，密封环和压盖形成的迷宫密封，毛刷罩上安装有两个喷水管，每个喷水管相对毛刷棍的位置开有稠密的小直径喷水口，毛刷罩底部开有放水槽。本发明具有结构微妙紧凑，安装简单，应用方便，成本低廉的特点。

主权项

半导体专用设备上吸片台清洗装置，其特征在于：其包括外罩(2)、毛刷棍部分、传动部分、迷宫密封部分和喷淋部分；其中毛刷棍部分由毛刷棍(3)和均匀布设在毛刷棍上的浓密的尼龙刷毛(13)构成，毛刷棍(3)设置在外罩(2)内；传动部分包括毛刷轴(4)、轴承座(9)、轴承(10)，毛刷轴(4)穿过外罩(2)上的通孔与毛刷棍(3)连接，轴承(10)设置为两个，固定在轴承座(9)上轴承间设有内、外隔圈(8、7)，在毛刷轴(4)端部设置有轴承锁母(11)，轴承锁母(11)通过螺纹连接在毛刷轴(4)上压紧轴承(10)；迷宫密封部分由设置在轴承座(9)与外罩(1)之间套在毛刷轴(4)上配套的压盖(6)和密封环(5)构成，压盖(6)固定在轴承座(9)上，密封环(5)紧套在毛刷轴(4)上；所述喷淋部分由设置在外罩(2)内的喷水管(1)构成，喷水管(1)对应毛刷棍(3)的部位上均匀布设有稠密的小口径喷水口，在外罩(2)底部设置有放水槽。