[发明专利]一种β-AgVO3纳米线硫化氢气敏材料及其用于制作气敏传感器的方法有效
申请号: | 201010184423.5 | 申请日: | 2010-05-20 |
公开(公告)号: | CN101830509A | 公开(公告)日: | 2010-09-15 |
发明(设计)人: | 麦立强;韩春华;高倩;徐林 | 申请(专利权)人: | 武汉理工大学 |
主分类号: | C01G31/00 | 分类号: | C01G31/00;G01N27/00 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 张安国 |
地址: | 430070 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 一种β-AgVO3纳米线硫化氢气敏材料及其用于制作气敏传感器的方法。β-AgVO3纳米线的直径为100~700nm、长达15~40微米。基于单根β-AgVO3纳米线的硫化氢气敏传感器的制法:以V2O5溶胶和Ag2O粉末物质的量之比为1∶1为原料,采用流变相自组装法制备得到β-AgVO3纳米线产物;用电子束刻蚀和真空蒸镀将金电极沉积到表面有一层30~100nm厚的SiO2的Si基片上;将β-AgVO3纳米线产物置于乙醇中超声分散后滴在表面有一层30~100nm厚的SiO2的Si基片上,选取分散较好的单根β-AgVO3纳米线定位在金电极上;采用聚焦离子束技术在两端电极接触点沉积一层300~600nm厚的金属Pt,即制得单根β-AgVO3纳米线的硫化氢气敏器件。本气敏传感器件,对硫化氢气体分辨率高,响应时间短,灵敏度高,选择性好,工作温度相对较低。 | ||
搜索关键词: | 一种 agvo sub 纳米 硫化 氢气 材料 及其 用于 制作 传感器 方法 | ||
【主权项】:
一种硫化氢气敏材料,其特征在于它为β-AgVO3,具有纳米线的一维结构,直径为100~700nm、长达15~40微米。
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