[发明专利]具预定图案的滚轮的制作方法无效
| 申请号： | 201010184425.4 | 申请日： | 2010-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN102262355A | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 许嘉麟 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B24C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种具预定图案的滚轮的制作方法，其包括：在待形成图案的滚轮表面形成干膜光阻；采用一曝光机并通过一光罩对所述干膜光阻曝光以在所述干膜光阻上形成第一图案；采用一喷砂机对所述第一图案所对应的所述滚轮表面进行喷砂处理以在所述滚轮上形成所述预定图案；去除干膜光阻。 | ||
| 搜索关键词： | 预定 图案 滚轮 制作方法 | ||
【主权项】：
一种具预定图案的滚轮的制作方法，其包括下列步骤：在待形成图案的滚轮表面形成干膜光阻；采用一曝光机并通过一光罩对所述干膜光阻曝光以在所述干膜光阻上形成第一图案；采用一喷砂机对所述第一图案所对应的所述滚轮表面进行喷砂处理以在所述滚轮上形成所述预定图案；去除干膜光阻。
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