[发明专利]一种改进太阳能电池的扩散方法

摘要

本发明公开了一种改进太阳能电池的扩散方法。第一步：选采用硅原料，导电类型P型；第二步：扩散：硅片在850～900℃气氛中与氧气，三氯氧磷发生化学反应，产生磷、五氯化磷、五氧化二磷、氯气；第三步：高温通氧推进，扩散步骤后再通入氧气3L/min，与未消耗完的PC15继续反应产生磷；第四步：通氧推进后继续通入大氮30L/min，停止通小氮，氧气3L/min；第五步：经过上述步骤，得到表面方块为48～52Ω/□硅片；本发明的有益效果：能较简单的控制方块电阻，增加方块的单片均匀性；可提高太阳电池的转换效率，且更加均匀，方法易行、操作简便、成本低廉。

主权项

一种改进太阳能电池的扩散方法，其特征在于：第一步：采用硅原料，导电类型P型；第二步：扩散：把上述硅原料在850～900℃气氛中与氧气，三氯氧磷发生化学反应，产生磷、五氯化磷、五氧化二磷、氯气；主要化学方程式如下：Si+O2＝SiO25POCl3＝P2O5+3PCl5(高温)4PCl5+5O2＝2P2O5+10Cl2(高温)2P2O5+5Si＝4P+5SiO2；第三步：高温通氧推进，扩散步骤后再通入氧气3L/min，与未消耗完的PCl5继续反应产生磷：4PCl5+5O2＝2P2O5+10Cl2(高温)2P2O5+5Si＝4P+5SiO；第四步：通氧推进后继续通入大氮30L/min，停止通小氮，氧气3L/min，持续600s；温度控制在830～900℃；第五步：经过上述步骤，得到表面方块为48～52Ω/□硅片。