[发明专利]压电部件及其制造方法

摘要

本发明涉及一种压电部件及其制造方法，压电部件包括压电基板、在压电基板的主表面形成的压电元件、在压电基板的主表面形成的元件配线部、连接配线部的端子电极，并由在配线部的上表面形成的绝缘膜、与在绝缘膜的上表面形成的和所述电极不同的电极的配线部连接的再配线层、覆盖再配线层的上表面的除压电元件外的整个面的由无机材料构成的缓冲层、在缓冲层的上表面形成的由感光性树脂构成的外围壁层、在外围壁层的上表面形成的由感光性树脂薄膜构成的第一顶层、在第一顶层的上表面搭载的由绝缘性材料构成的网状部件、披覆在网状部件的上表面而形成的由感光性树脂薄膜构成的第二顶层、贯通第一和第二顶层、外围壁层和网状部件而形成的贯通电极构成。

主权项

一种压电部件，其特征在于：包括压电基板、在该压电基板的主表面上形成的压电元件、在所述压电基板的主表面上形成的元件配线部、连接该配线部的端子电极，由在所述配线部的上表面上形成的保护膜、并且，与在该保护膜的上表面上形成的和所述电极不同的电极的配线部连接的再配线层、并且，覆盖该再配线层的上表面的除所述压电元件外的整个面的由无机材料构成的缓冲层、在该缓冲层的上表面上形成的由感光性树脂构成的外围壁层、在该外围壁层的上表面上形成的由感光性树脂薄膜构成的第一顶层、在该第一顶层的上表面上搭载的由绝缘性材料构成的网状部件、并且，披覆在该网状部件的上表面而形成的由感光性树脂薄膜构成的第二顶层、贯通所述第一和所述第二顶层、所述外围壁层和所述网状部件而形成的贯通电极构成，在所述外围壁层和所述第一顶层和所述压电基板的主表面之间形成收容所述压电元件的中空部。