[发明专利]导气管装置有效

专利信息
申请号: 201010188998.4 申请日: 2010-05-17
公开(公告)号: CN102254841A 公开(公告)日: 2011-11-23
发明(设计)人: 刘志益 申请(专利权)人: 南茂科技股份有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 任永武
地址: 中国台湾新竹科*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明提供一种导气管装置,具有沿第一轴向、第二轴向与第三轴向的构形,其中第一轴向、第二轴向与第三轴向彼此为正交。导气管装置包含有本体与尾管。本体沿第二轴向的两端为头端与尾端、沿第三轴向的两端为两侧壁。本体的头端附近沿第一轴向形成有贯穿的第一通孔。本体进一步包含有第一气孔与旁路气孔,第一气孔是沿第二轴向配置,且贯通本体的尾端与第一通孔,旁路气孔的一端与第一气孔相连通,相对的另一端与第一通孔相连通。尾管接合至本体的尾端,沿第二轴向形成有贯穿的第二通孔,第二通孔与第一气孔相连通。
搜索关键词: 气管 装置
【主权项】:
一种导气管装置,具有沿第一轴向、第二轴向与第三轴向的构形,其中,该第一轴向、第二轴向与第三轴向彼此为正交,该导气管装置包含有:一本体,沿第二轴向的两端为头端与尾端、沿第三轴向的两端为两侧壁,该本体的头端附近沿第一轴向形成有一贯穿的第一通孔,该本体进一步包含有第一气孔与旁路气孔,该第一气孔是沿第二轴向配置,且贯通该本体的尾端与该第一通孔,该旁路气孔一端连通至该第一气孔,另一端连通至该第一通孔;以及一尾管,接合至该本体的尾端,沿第二轴向形成有一贯穿的第二通孔,该第二通孔连通至该第一气孔。
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