[发明专利]一种蒸发设备无效
| 申请号： | 201010191980.X | 申请日： | 2010-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN101838790A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 涂爱国 | 申请（专利权）人： | 涂爱国 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 韩洋;吴彦峰 |
| 地址： | 四川省德阳*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸发设备，其特征在于，该蒸发设备包括：（a）至少一个蒸发源，能够加热使源材料气化产生源材料的蒸气；（b）一个与蒸发源连接的盒子，该盒子具有线性出口，引导盒子中的蒸气流到衬底上；（c）阻止材料沉积在所述盒子和导管的内壁上的加热部件；（d）外壳和分布在盒子和蒸发源周围的冷却管。该蒸发设备具有可以实现大面积均匀成膜的优点，并且容易实现均匀混合蒸镀两种或多种材料，能够加快薄膜沉积速率，提高材料利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 设备 | ||
【主权项】：
一种蒸发设备，其特征在于，该蒸发设备包括：（a）至少一个蒸发源，能够加热使源材料气化产生源材料的蒸气；（b）一个与蒸发源连接的盒子，该盒子具有线性出口，引导盒子中的蒸气流到衬底上；（c）阻止材料沉积在所述盒子的内壁上的加热部件；（d）外壳和分布在盒子和蒸发源周围的冷却管。
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