[发明专利]一种高灵敏度的电容传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201010192534.0 | 申请日： | 2010-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN102269598A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 周汉秦;蒋乐跃 | 申请（专利权）人： | 美新半导体(无锡)有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/24 | 分类号： | G01D5/24 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所 31239 | 代理人： | 杨天娇 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高灵敏度的电容传感器及其制造方法。其中高灵敏度的电容传感器包括柔性梁、固定叉指以及与柔性梁连接的且与固定叉指配合的可动叉指，其中固定叉指和可动叉指分别都包括底部和与所述底部垂直连接的两个以上的凸起部。本发明涉及的高灵敏度的电容传感器及其制造方法，通过大大增加电容极板的等效变化面积，从而大大提高器件测量的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 电容 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种高灵敏度的电容传感器，其包括柔性梁、固定叉指以及与柔性梁连接的且与固定叉指配合的可动叉指，其特征在于：所述固定叉指和可动叉指分别都包括底部和与所述底部垂直连接的两个以上的凸起部。
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