[发明专利]吸附分离提纯方式制备高纯乙硼烷方法的工艺技术无效
申请号: | 201010192538.9 | 申请日: | 2010-06-07 |
公开(公告)号: | CN101955156A | 公开(公告)日: | 2011-01-26 |
发明(设计)人: | 李中元 | 申请(专利权)人: | 天津市泰源工业气体有限公司 |
主分类号: | C01B6/10 | 分类号: | C01B6/10;B01D53/04 |
代理公司: | 天津市杰盈专利代理有限公司 12207 | 代理人: | 李凤林 |
地址: | 300385 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种吸附分离提纯方式制备高纯乙硼烷方法的工艺技术,主要由粗B2H6(乙硼烷)气瓶、干燥器、吸附器、真空泵、尾气吸收器、产品收集器按其系统功能通过连接管线组装一体而构成。设计合理,使用方便,是理想的高纯乙硼烷制备工艺技术。 | ||
搜索关键词: | 吸附 分离 提纯 方式 制备 高纯 乙硼烷 方法 工艺技术 | ||
【主权项】:
一种吸附分离提纯方式制备高纯乙硼烷方法的工艺技术,其特征在于:粗B2H6(乙硼烷)气瓶、干燥器、吸附器、真空泵、尾气吸收器、产品收集器按其系统功能通过连接管线组装一体而构成。
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