[发明专利]镀膜工艺中的图案形成方法及应用此方法的基板承载设备

摘要

一种镀膜工艺中的图案形成方法及应用此方法的基板承载设备，该镀膜工艺中的基板承载设备包含一承载架、至少一遮罩以及至少一压合工具。承载架具有至少一承载槽孔，以供遮罩对应组配，此遮罩具有一平面图形部及一磁性结构部。于基板置入承载槽孔后，压合工具可移动的推抵基板与平面图形部相互接触，并辅以磁性结构部吸附住压合工具，让基板被夹持于遮罩及压合工具之间。当基板承载设备进行镀膜工艺时，借由遮罩的平面图形部设计，以在基板表面形成一具预定图样的镀膜层。因此在镀膜过程中，直接在基板上形成有镀膜图案的设计，可省略后续曝光显影的蚀刻步骤，以及降低整体工艺时间与成本。

主权项

一种镀膜工艺中的图案形成方法，其特征在于，包含下述步骤：提供一基板承载设备，具有至少一承载槽孔；装配一遮罩对应于该承载槽孔，该遮罩具有一平面图形部；移动一基板置入该承载槽孔内；提供一压合工具，以能够移动的关系推抵该基板与该平面图形部相互接触，令该基板被夹持在该遮罩及该压合工具之间；以及对该基板承载设备执行一镀膜工艺，以在该基板上形成一对应该平面图形部的镀膜层。