[发明专利]加速度传感器元件及具有该元件的加速度传感器

摘要

本发明实现相对于外力输出不容易变化、可以兼顾高的灵敏度和耐冲击性的加速度传感器。一种带盖的加速度传感器元件，包括：重锤部，包围重锤部的支承框部，将重锤部连接并保持到支承框部上的具有挠性的多个梁部，设置在梁部上的压电电阻元件以及连接它们的配线，将和支承框部一起包围重锤部的周围的上盖及下盖接合到支承框部的表面和背面上，根据压电电阻元件的电阻的变化，检测出接合厚度方向的第一轴、在与之垂直的平面内的第二轴及在前述平面内垂直于第二轴的第三轴这三个轴向方向或者这些方向其中的一个的轴向方向的加速度，其中，支承框部被分离槽分离成内框和外框，上盖及下盖被接合到外框上，内框被具有挠性的多个内框支承部连接到外框上，前述梁部沿着第二轴和第三轴连接到重锤部的两侧，内框支承部在从第二轴和第三轴旋转大致45度的方向上，连接到内框的两侧。

主权项

一种带盖的加速度传感器元件，包括：重锤部，包围重锤部的支承框部，将重锤部连接并保持到支承框部上的具有挠性的多个梁部，设置在梁部上的压电电阻元件以及连接它们的配线，将和支承框部一起包围重锤部的周围的上盖及下盖接合到支承框部的表面和背面上，根据压电电阻元件的电阻的变化，检测出上盖、支承框、下盖叠层的厚度方向的第一轴方向的加速度以及在与之垂直的平面内的第二轴及在前述平面内垂直于第二轴的第三轴中的至少一个轴向方向的加速度，其特征在于，前述支承框部被分离槽分离成内框和包围内框周围的外框，前述上盖及下盖被接合到前述外框上，前述内框被具有挠性的多个内框支承部连接保持到前述外框上，前述梁部，沿着前述第二轴和第三轴中的至少一方，连接到重锤部的两侧，内框支承部，从前述第二轴和第三轴的至少一方，沿着外框的变形的影响难以传递给梁部的方向旋转规定的角度，连接到内框的两侧。