[发明专利]一种用于晶片加工机台的防呆计时报警方法和装置无效
| 申请号： | 201010194509.6 | 申请日： | 2010-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN102267094A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王浩;赵久嵩;吴恩涛;胡津;黎阳;施杰 | 申请（专利权）人： | 和舰科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | B24B49/10 | 分类号： | B24B49/10;B24B55/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 215025 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶片加工机台的防呆计时报警方法和装置，属于半导体生产技术领域。所述方法包括：S1：在晶片加工过程中通过所述机台上的信号输出端子，判断所述机台是否无动作；S2：当判断出所述机台无动作时，发出报警。因此，本发明能够侦测到机台无动作并发出报警，通知工程师第一时间处理产品，降低产品报废风险，维护机台保证生产的连续。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶片 加工 机台 计时 报警 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于晶片加工机台的防呆计时报警方法，其特征在于，包括步骤：S1：在晶片加工过程中通过所述机台上的信号输出端子，判断所述机台是否无动作；S2：当判断出所述机台无动作时，发出报警。
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