[发明专利]启动加注处理方法和启动加注处理装置有效
| 申请号： | 201010194786.7 | 申请日： | 2010-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN101905209A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 若元幸浩;田代佳;上田荣一 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C13/02;B05C11/10;B05C9/12;B05D1/26;G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种启动加注处理方法和启动加注处理装置，保障启动加注处理的可靠性并进一步削减清洗液的使用量。使狭缝喷嘴(72)的喷出口相对于启动加注辊(14)的顶部平行相对，在使启动加注辊(14)静止的状态下，狭缝喷嘴(72)喷出恒定量的抗蚀剂液(R)。接着，启动加注辊(14)开始旋转，将抗蚀剂液(R)卷绕在启动加注辊(14)外周面上。接着，一次性提高启动加注辊(14)的转速，分离抗蚀剂液(R)的液膜从而分成狭缝喷嘴72侧和启动加注辊14侧，分离后还使启动加注辊(14)继续旋转，使抗蚀剂液膜(RM1)自然干燥。 | ||
| 搜索关键词： | 启动 加注 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种启动加注处理方法，用于在非旋转法的涂敷处理所用的狭缝喷嘴的喷出口附近形成涂敷液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其特征在于，包括：第1工序，为了进行1次量的启动加注处理，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于水平配置的圆筒状或圆柱状的启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分；第2工序，使卷绕在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液的液膜干燥而成为第1干燥膜；第3工序，为了进行另外1次量的启动加注处理，使上述狭缝喷嘴的喷出口避开上述第1干燥膜地相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上的、与上述第1干燥膜不同的区域上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分；第4工序，通过清洗，一并去除附着在上述启动加注辊外周面上的液膜或干燥膜。
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