[发明专利]一种可控制备纳米或微米器件的方法

摘要

本发明公布了一种可控制备单根(数根)氧化锌(ZnO)纳米或微米器件的方法。利用水热法生长出了直径约100-300nm、长度20-30μm的ZnO纳米/微米棒。在显微镜下用介电电泳法可控地将单根ZnO棒组装在电极之间。本发明很好地解决了ZnO纳米/微米材料器件化中单根纳米材料的分离及可控搭建纳米器件这两个难题。该纳米/微米器件可应用于气体传感、紫外传感、生物传感(如智能药物胶囊)以及其它纳米/微米光电器件等。

主权项

一种可控制备纳米或微米器件的方法，其特征在于，该方法制备的器件包含单根或数根ZnO纳米或微米结构，具体步骤如下；a.搭建器件所用的ZnO纳米或微米结构：室温下，在容器中配置0.5mol/L的ZnCl2溶液，逐渐滴加NH3·H2O至pH＝10.1-10.8，放入清洗干净的玻璃衬底，密封容器后置于80-120℃的恒温干燥箱生长3-5个小时，得到长度20-35μm的ZnO纳米/微米结构；b.电极：在玻璃衬底上用磁控溅射法或热蒸镀方法制备一层金属膜，然后用锋利的刀具刻划出为5-15μm的狭缝而形成；c.单根ZnO纳米或微米器件的搭建：1)将生长有ZnO纳米或微米结构的衬底置于酒精溶液中超声10-20分钟，取出衬底，重新加入酒精，配制成ZnO浓度适中的溶液，之后再超声10-20分钟；2)将刻划好的电极放置在放大倍率为100-200倍透射模式的显微镜下，将配制好的溶液滴加在电极上，给电极两端加上4-6V、5-6MHZ的高频电场，反应1-10分钟；将电极取出，用去离子水清洗后，在烘箱中烘干、保存。