[发明专利]一种投影物镜有效
| 申请号： | 201010196223.1 | 申请日： | 2010-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN102279459A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 武珩;黄玲;刘国淦 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/18 | 分类号： | G02B13/18;G02B13/14;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种投影物镜，用于把位于所述投影物镜的物平面内的图案投射到所述投影物镜像平面内，从所述物平面开始沿光轴依次设置：具有正光焦度的第一透镜组；具有正光焦度的第二透镜组；光焦度接近零的第三透镜组；具有正光焦度的第四透镜组。本发明使用较少的镜片完成1.25x放大倍率设计，同时实现了i线+/-5nm的光谱带宽，半视场大小100mm，保证了足够的曝光光强，这些都是为了满足高产率光刻设备需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 投影 物镜 | ||
【主权项】：
一种投影物镜，用于把位于所述投影物镜的物平面内的图案投射到所述投影物镜像平面内，其特征在于从所述物平面开始沿光轴依次设置：具有正光焦度的第一透镜组；具有正光焦度的第二透镜组；光焦度接近零的第三透镜组；具有正光焦度的第四透镜组；其中：所述各透镜组满足以下关系式：0.42＜f2/f1＜0.58 (1)1.94＜f4/f1＜1.53 (2)f1：第一透镜组的焦距；f2：第二透镜组的焦距；f4：第四透镜组的焦距。
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